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| CVD | AMAT ??P5000 | 4 | 1800m?/h³éËÙ x 3̨ 600m?/h³éËÙ x 1̨ |
| CVD | Centra 5200 | 6 | 1800m?/h³éËÙ x 4̨ 600m?/h³éËÙ x 2̨ |
| CVD | LAM 9600 | 2 | 600m?/h³éËÙ |
| ETCH | LAM Alliance exclan HPT | 5 | 600m?/h³éËÙ |
| ETCH | AMAT ?P5000 ?MXP+ | 4 | 600m?/h³éËÙ |
| ETCH | LAM?9400SE | 2 | 600m?/h³éËÙ |
| ETCH | LAM 9600 | 3 | 600m?/h³éËÙ |
| CVD | AMAT ??P5000 | 4 | 1800m?/h³éËÙ x 4̨ |
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2026-04-08